All MENU

TOP

EUV 극자외선 발생

우시오사 기술자료 발췌

EUV 이용

분야 구체 응용 램프사양 예상세계시장 (2020)
(nm) (W) (mm)
살균
제균
탈취
광 오존 발생기 172 5-100 50-100 2015년 약 2조원
자외선 장치 공간살균 222 100-500 250-500
물 살균 254-275 100-500 250-500
세척 표면개질 반도체 웨이퍼 172 100-500 250-500
유리기판 세척 172 500-900 1,000-1,500
기판/필름/표면개질 172 500-900 1,000-1,500
접합 분해 유리기판/필름 접합 172 500-900 1,000-1,500
고분자 재료 접합 172 500-900 1,000-1,500
바이오 의료 광선 치료 222-308 5-100 -
독성 제거 172 100-500 - 3,000억원
EUV를 이용하여 오존 및 활성산소를 생산 각종 환경물질의 분해, 표면처리 및 표면 개질 효과를 얻을 수 있다.

Excimer 램프의 표면 크리닝 및 개질

EUV를 공기중의 산소와 오존에 조사하여 표면 반응 활성화가 매우 높은 활성산소 와 활성 오존을 생산하는 것이 가능하다.
방사파장 (nm) 유효 발광면적 (mm2) 방사출력밀도 (mW/cm2) 동작전압 (V) 에너지효율 (%) 조사면 출력균일도 (%)
172 100 X 500 250 <250 10 85
PDP 기술을 이용하는 대면적 고 효율 저 비용의 EUV 양산 공정기술 개발을 검토하고 있다.